ITRI与OIPT合作，等离子体刻蚀系统助力开发MicroLED

据报道，日前，牛津仪器（Oxford Instruments Plasma Technology ，简称 “OIPT”）宣布与台湾工业技术研究院（Taiwan’s Industrial Technology Research Institute，简称 “ITRI”）达成合作。牛津仪器将提供包含刻蚀与沉积的PlasmaPro100多种等离子体刻蚀系统，助力台工研院的Micro LED研发项目。

据悉，PlasmaPro100工艺解决方案是专为支持激光、射频、功率以及先进发光二极管等尖端器件应用设计的。

台工研院自2009年起开始开发Micro LED技术，于2018年和聚积、欣兴电子、錼创展开合作。在台北国际电脑展上，工研院展出了一个Micro LED模块。此外，该工研院也在研发用于AR应用的Micro LED技术。

工研院电子与光电系统研究实验室（Electronics and Optoelectronics System Research Laboratories ）部门副主任Dr Fang评论表示，工研院与牛津仪器达成紧密合作并不仅仅是因为牛津仪器拥有前沿技术。除此之外，研究院做出采购决策还有一些关键因素，包括牛津仪器的应用解决方案、本土工艺支持以及其与产业合作伙伴共同将实验室发展成为生产标准的能力。

牛津仪器战略市场营销经理Robert Gunn表示，牛津仪器很高兴选择了工研院作为合作伙伴，通过工研院的Micro LED研发项目（类似于三星The Wall所用的Micro LED）共同进入下一个激动人心的LED发展阶段。

据介绍，许多研究机构及初创公司采用了牛津仪器的工艺解决方案，工研院成为了其中的*新一员。