乾照光电3D传感VCSEL已具备大规模量产能力

近日，*新消息显示，乾照用于3D感测的VCSEL产品，已具备大规模量产和出货的能力，并且目前已经实现小批量出货，主要是3D结构光、TOF和距离传感器等。

作为全色系LED 及砷化镓空间太阳能电池外延片和芯片企业，加上国内红黄光 LED龙头的优势，乾照光电在VCSEL上先行一步。

据了解，由于红黄光LED和VCSEL同属GaAs材料体系，凭借在砷化镓光电器件领域的多年积累，乾照光电2017年开始对VCSEL展开密集调研，次年正式投入15.97亿用于投建VCSEL、高端LED芯片等高端半导体项目，由全资子公司乾照半导体承办，并成立合资子公司——乾照激光。在战略投资VCSEL项目时，乾照光电充分信赖和依靠自身的技术团队，选择“企业孵化+科研院所合作”的产学研相结合的模式，将乾照光电的量产经验与科研院所的理论底蕴相结合。

截止目前，乾照已建成包括3D感测VCSEL外延生长、芯片流片、点测分选和可靠性验证等完整一站式VCSEL产线。

（1）针对结构光客户，目前乾照已配合数家结构光客户进行随机列阵定制，并已为部分客户小批量供货。得益于完整和高效的VCSEL产线，乾照激光产品迭代迅速，供货有保障：常规的VCSEL随机阵列，定制周期较短，包括方案评估、光刻图形定制、芯片研发和生产等环节。已通过验证的客户，重复订单，从下单到出货不到3周。

（2）针对TOF方案客户，目前公司内部已开发的产品波长覆盖940nm和850nm，功率覆盖单孔的5mW到高功率的8W均匀列阵。批量出货产品的光电转换效率可达40~45%。

乾照光电均匀列阵产品

（3）如果客户有其他规格芯片需求（如尺寸、功率、波长等），也可提供定制化服务。

同时，乾照也已具备大规模量产和出货的能力：

（1）公司用于砷化镓的外延炉有数十台，包括大型的6英寸外延炉，产量有足够的保证，在砷化镓磊晶上，团队有十余年的量产经验；

（2）芯片流片线在研发样品和小批量出货的过程中，得到了充分磨合，良率稳步提升；

（3）乾照光电可提供一站式的VCSEL测试和可靠性验证，包括加速老化、 冷热冲击、可焊性实验、恒温恒湿实验、静电实验等。在一轮轮的产品出样和迭代周期中，对于VCSEL，乾照光电已具备量产的几大必需能力：响应及时、迭代迅速、制程稳定、可靠性保障、大规模出货。

乾照光电VCSEL产线设备

此外，乾照正开发下一代产品：倒装VCSEL芯片。相对于正装，倒装VCSEL预计可以大幅改善散热特性，公司已开始进行倒装VCSEL产品的技术储备，保守估计，2020年下半年，有望完成倒装的可靠性测试并实现批量供应。而且，在VCSEL产品主流波段940nm和850nm上，乾照均有生产，下一阶段将根据市场和客户的具体需求，逐步丰富产品序列。若客户如果有特殊波长的需求，也可提供客制化服务。

面对VCSEL在车载的激光雷达的广阔应用前景，首先在产品上，乾照光电目前可提供的VCSEL产品*高功率规格是8W，可应用在近距离的车载扫盲中，未来在完成倒装工艺基础上，会进一步开发20~30W乃至更高功率的VCSEL产品，从而为激光雷达的方案公司提供区别于边射激光器方案的选择。其次，乾照光电已通过车规级产线资质审核，获得了IATF16949认证，方便激光雷达客户的车规审核。

在TOF方案方面，乾照光电当前已收到部分客户对下一代TOF方案的需求，并于2019年Q4正式立项。此项目具有较大的挑战性，相对于市场当前的TOF有所不同，未来在3D感测和消费电子端，可能发生质的飞跃和改变。在2020年的工作中，会重点集中研发力量和工程力量，去满足客户需求，但目前还处于保密阶段。