济州大学研发柔性OLED用ALD蒸镀设备，可提升产品使用寿命和性能

文章转自：CINNO

韩国显示研究组合28日表示，作为产、学、研联合研究的结果，济州大学教授崔京贤（音译）研究团队开发出了基于“Roll to Roll连续工艺的低温、常压图案蒸镀设备(ALD)”。

根据韩媒Digital times报道，ALD是一种利用原子层蒸镀法的蒸镀工艺技术，通过交叉注入包括ALD金属在内的原料和反应气体，以原子为单位外延薄膜的方式。均匀度高的细致薄膜可以大面积延长，相比目前的CVD(化学沉积)方式更能提升柔性OLED(有机发光二极管)面板的使用寿命和性能。

研究团队表示，使用该技术，除了在目前的产业上运用的图案形成技术外，在应用于智能传感器、柔性元件、可穿戴元件制作的柔性薄膜上，可以实现纳米级高细微、精密薄膜图案方面，也具备重大的意义。

崔敬贤教授表示，“我们将为选择性薄膜模式沉积技术获取源头技术，在智能设备产业、市场上创造新的工艺、装备产业。”

另外，此次研究是韩国产业通商资源部的产业原创技术开发项目之一，在近5年内，共获得约62亿韩元(约3591万人民币)的资金支持。