合肥欣奕华中小尺寸巨量转移设备顺利交付

   近日，泛半导体智能制造整体解决方案供应商合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣奕华”）成功研制出中小尺寸Mini LED量产用巨量转移设备，并已出货交付。

   该中小尺寸巨量转移设备转移速度可达到360k UPH，处于全球先进水平，该设备对8.9寸到34寸基板可无限兼容。此次交付的是国内首台全自主研发面世的34寸中小尺寸巨量转移设备，是合肥欣奕华基于长期技术积累，攻克 “卡脖子”技术难题，继成功研发大尺寸巨量转移设备（65寸基板无需拼接）之后的又一重大突破，也是我国泛半导体领域核心工艺装备自主化道路上的又一里程碑。

   这次合肥欣奕华主要克服适应高频高加速冲击运动的轻量化高刚度结构设计，匹配巨量转移设备高频高精度运动情况下的热膨胀消除及温度补偿方法、适应高速高精度转移的运动控制相关技术，如：亚毫秒级多轴协同运动轨迹规划和控制技术、高频冲击残余振动抑制技术、适应多样化待转移器件的微米级特征高精度视觉系统。相关负责人表示，此次中小尺寸巨量转移设备研发顺利，一方面得益于合肥欣奕华对巨量转移设备开发的长期技术积累，另一面得益于客户的认可和支持，是共同创新的成果。