规模生产、降本，两家国外厂商披露Micro LED最新进度

   近日，Micro LED方面，德国半导体企业AIXTRON （爱思强）、韩国LED制造商LUMENS皆传来新进度。

   其中，爱思强推出首款全自动AsP平台-G10 AsP，LUMENS宣布已开发出用于Micro LED显示器生产的单片RGB外延晶圆。

   爱思强推出首款全自动AsP系统-G10 AsP

   1月26日，爱思强（AIXTRON SE）向市场推出首款全自动AsP系统，即G10-AsP，该系统将于2月1日在Photonics West展会上正式发布。

   据爱思强介绍，新的G10-AsP系统满足了Micro LED和激光元件领域不断增长的需求，可实现稳健的大规模生产，Micro LED的真正量产将成为现实。

   据悉，新型全自动G10-AsP是爱思强投放市场的最大的200mm AsP批次反应器，配备原位清洗和自动盒式到盒式 (C2C) 晶圆装载。

   其前端首次可以配备SMIF（标准机械接口）吊舱，以进一步减少外延晶圆对室内环境的暴露。借助内置的原位清洁功能，用户可以根据需要重新设置腔室条件——无论是在满足最苛刻要求的每个工艺运行之后，还是在生产活动之后。

   此外，G10-AsP系统基于成功的Planetary Reactor® 技术，可将多晶圆间歇式反应器概念与单晶圆旋转相结合，以确保最 高的晶圆均匀性。

   Lumens开发单片堆叠RGB Micro LED外延片技术

   1月24日，Lumens宣布已开发出用于Micro LED显示器生产的单片RGB外延晶圆，新技术将三种颜色的LED堆叠在晶圆上的另一个之上。

   堆叠式Micro LED架构提高了性能，同时也提高了传输过程的效率。该公司表示，其设计将显着降低生产成本——尤其是转移过程，将其减少到三分之一（就转移步骤的数量而言），同时还可以从单个晶圆上完成所有过程。

   为了开发这项技术，该公司开发了一种InGaN红色材料，这种材料与红色和绿色LED的材料相同，可以更容易地堆叠在同一晶圆上，易于加工，有利于单片生产。

   Lumens称，Micro LED外延片可用于实现Micro LED电视和扩展现实（XR）设备，并计划推进商业化，计划将Micro LED培育成新的增长引擎。