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斯特拉斯克莱德大学的研究人员开发出连续滚筒MicroLED转印工艺

类别:技术与产品发表于:2023-07-20 10:42

摘要:英国斯特拉斯克莱德大学的研究人员在 Eleni Margariti 博士的带领下,基于连续单次滚筒转印工艺开发了一种新的 Micro LED 转印工艺。

英国斯特拉斯克莱德大学的研究人员在 Eleni Margariti 博士的带领下,基于连续单次滚筒转印工艺开发了一种新的 Micro LED 转印工艺。

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研究人员表示,这一工艺可以实现 Micro LED 的大规模集成。他们开发的系统可以单次传输 320x240 像素阵列(超过 75,000 个Micro LED),相对位置精度达到亚微米级。

转移印刷过程保留了阵列几何形状,像素空间位置误差与设计布局的偏差小于 1 µm。 研究人员还采用了基于简单光学显微镜的自动化亚微米精密计量系统,来评估如此庞大的器件群并评估良率。

来源:《光学材料快报》

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